| 主权项 |
一种晶圆移送装置，包括：一自动机械臂单元，其操作由一驱动装置控制；一控制片，一晶圆置于该控制片上，该控制片安装在该自动机械臂单元的底端，其中该控制片包括一固定爪；以及一夹具，安装在该控制片上，在固定该晶圆时使放置在控制片上的该晶圆定位，其中该夹具包括：一运动推进器，将放置在该控制片上的该晶圆朝着该固定爪推进；一驱动部件，滑动移动该运动推进器；一盒子，安装该驱动部件；至少一制动装置，调节该运动推进器之移动距离，且该制动装置，如螺丝钉一样与盒子连接，且调整该制动装置的位置，以控制该制动装置与该晶圆的距离。如申请专利范围第1项所述之晶圆移送装置，其中该驱动部件包括一汽缸。如申请专利范围第2项所述之晶圆移送装置，更包括一感测单元，测定该汽缸之位置以判定该晶圆是被正确保持或脱离。如申请专利范围第3项所述之晶圆移送装置，其中该汽缸的位置被分为一等候部分、一保持部分和一脱离部分；以及该感测单元，包括：一第一感测器，检测该汽缸是否位于该等候部分；以及一第二感测器，检测该汽缸脱离该保持部分而位于该脱离部分。如申请专利范围第4项所述之晶圆移送装置，其中该感测单元还包括一第三感测器，检测该晶圆是否在该控制片上。如申请专利范围第1项所述之晶圆移送装置，其中该运动推进器，包括：一连接杆，连接于该驱动装置之一移动轴；一对支撑器，从该连接杆之两侧伸出；以及一移动爪，安装在该对支撑器上，该移动爪与该晶圆之侧边接触而支撑该晶圆。如申请专利范围第1项所述之晶圆移送装置，更包括一弹簧，用来控制该运动推进器的运动速度，以吸收该运动推进器接触该晶圆时产生的振动。如申请专利范围第7项所述之晶圆移送装置，其中该弹簧配置于该盒子与该移动轴之间。如申请专利范围第1项所述之晶圆移送装置，其中该控制片具有多个支撑突起，支撑该晶圆的底部。 |
