发明名称 影像显示系统及其制造方法
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.08.11
申请号 TW096132440 申请日期 2007.08.31
申请人 奇美电子股份有限公司 发明人 曾章和
分类号 H01L51/00 主分类号 H01L51/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 一种影像显示系统,包含:一主动阵列有机电激发光装置,包含:一基板;复数之扫瞄线及资料线配置于该基板,以定义出复数之画素区,其中每一画素结构包含:一开关薄膜电晶体,包含一第一通道层、第一源汲极区配置于该第一通道层之两侧、一第一闸极配置于该第一通道层之上、及一第一传导层配置于该通道层之下;一驱动薄膜电晶体,包含一第二通道层、第二源/汲极区配置于该第二通道层之两侧、一第二闸极配置于该第二通道层之下,及一第二传导层配置于该第二通道层之上;一储存电容,包含二第一电极,及一第二电极配置于该二第一电极之间,其中该第一传导层、该第二闸极及该较低之第一电极系为相同材质并在相同步骤中同时形成;及一画素电极经由一第一接触栓与该驱动薄膜电晶体之第二源汲极区电性连结,其中该第二电极系经由一第二接触栓与该驱动薄膜电晶体之第二源汲极区电性连结,以及该较低与较高之第一电极系经由一第三接触栓与该开关薄膜电晶体之第一源汲极区电性连结。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,其中该较低之第一电极及该第二闸极系彼此接触。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,其中该第一闸极电极、该较高之第一电极、该第二传导层、及该扫瞄线系为相同材质并在相同步骤中同时形成。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,其中该第一及第二通道层及该第二电极系为相同材质并在相同步骤中同时形成。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,其中该第一接触栓,该第二接触栓,该第三接触栓,及该资料线系为相同材质并在相同步骤中同时形成。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,更包含一第一介电层配置于该第一传导层、该较低之第一电极及该第二闸极电极、该第一及第二源汲极区、以及该第一及第二通道层与该第二电极之间。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,更包含包含一第二介电层配置于该第一及第二源汲极区、该第一及第二通道层、及该第二电极、及该第一闸极电极与该较高之第一电极及该第二传导层之间。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,更包含一保护层于该开关薄膜电晶体、该驱动薄膜电晶体、及该储存电容之上,其中该第一接触栓、该第二接触栓、及该第三接触栓系经由该复数之接触窗贯穿该保护层。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,更包含一有机电激发光二极体经由该第一接触栓与该第二源汲极区电性连结。如申请专利范围第9项所述之影像显示系统,其中该画素电极系作为该有机电激发光二极体之阳极。如申请专利范围第1项所述之影像显示系统,更包含一显示面板,其中该主动阵列有机电激发光装置,系构成该显示面板之一部份。如申请专利范围第11项所述之影像显示系统,更包含一电子装置,其中该电子装置包含:该显示面板;以及一输入单元,与该显示面板耦接,其中该输入单元系传输讯号至该显示面板,以使该显示面板显示影像。如申请专利范围第12项所述之影像显示系统,其中该电子装置系为一行动电话、数位相机、个人资料助理(PDA)、笔记型电脑、桌上型电脑、电视、车用显示器、或可携式DVD播放机。一种影像显示系统的制造方法,其中该影像显示系统包含一主动阵列有机电激发光装置,该方法包含:提供一具有一开关薄膜电晶体区、一驱动薄膜电晶体区、及一储存电容区之基板;形成一第一传导层于该开关薄膜电晶体区、一第一闸极于该驱动薄膜电晶体区、及一较低之第一电极于该储存电容区;形成一第一介电层于该基板之上以覆盖该第一传导层、该较低之第一电极,及该第一闸极电极;形成一第一复晶矽岛于该开关薄膜电晶体区内之该第一介电层之上、一第二复晶矽岛于该驱动薄膜电晶体区之该第一介电层之上、及一第三复晶矽岛于该储存电容区之该第一介电层之上;对该第三复晶矽岛进行一掺杂制程以形成一第二电极;形成一第二介电层于该基板以覆盖该复晶矽岛及该第二电极;形成一第二闸极于该第一复晶矽岛之上的第二介电层上、形成一较高之第一电极于该一部份之第二电极该上的第二介电层上、形成一第二传导层于该第二复晶矽岛之上的第二介电层上;形成一第一源汲极区于该第一复晶矽岛中,以定义出一介于该第一源汲极区之间的第一通道区、以及形成一第二源汲极区于该第二复晶矽岛中,以定义出一介于该第二源汲极区之间的第二通道区;形成一保护层于该基板之上;形成一第一接触栓与该第二汲极区接触;形成一画素电极经由该第一接触栓与该第二汲极区电性连结;形成一第二接触栓以使该第二电极及该第二源极区电性连结;以及形成一第三接触栓以使该第一源汲极区、该较低之第一电极、以及该较高之第一电极电性连结。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该较低之第一电极及该第一闸极系彼此相连。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该第一传导层、该第一闸极、及该较低之第一电极系为相同材质并在相同步骤中同时形成。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该第一复晶矽岛、该第二复晶矽岛、以及该第三复晶矽岛系为相同材质并在相同步骤中同时形成。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该第二电极、以及该第一源汲极区系由相同之掺杂制程所形成。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该第二闸极电极、该较高之第一电极、以及该第二传导层系为相同材质并在相同步骤中与一扫瞄线同时形成。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,其中该第一接触栓,该第二接触栓、以及该第三接触栓系为相同材质并在相同步骤中与一资料线同时形成。如申请专利范围第14项所述之影像显示系统的制造方法,在形成该第一接触栓后,更包含:形成一有机电激发光二极体于该保护层之上,其中该有机电激发光二极体包含该画素电极作为该有机电激发光二极体之阳极电极,其中该阳极电极系经由该第一接触栓与该第二汲极区电性连结。
地址 苗栗县竹南镇新竹科学工业园区科学路160号