摘要 |
Elektrostatischer Scheibenhalter, der folgendes umfasst: a) einen Scheibenhalterkörper (12), b) eine Elektrode (14), die in dem Scheibenhalterkörper (12) eingebettet ist: und c) einen elektrischen Kontakt (22), der sich von der Elektrode (14) aus erstreckt, wobei sowohl die Elektrode (14) als auch der elektrische Kontakt (22) ein erstes Metall enthalten und der elektrische Kontakt (22) und die Elektrode (14) eine Legierung aus dem ersten Metall und einem zweiten Metall enthalten, wobei das ganze zweite Metall in dem ersten Metall gelöst ist, und wobei das erste und das zweite Metall aus einer der folgenden Gruppen ausgewählt werden: – Molybdän als erstes und Nickel mit (0,001–5) Gew.-% als zweites Metall, – Molybdän als erstes und Kobalt mit (0,01–15) Gew.-% als zweites Metall, – Wolfram als erstes und Nickel mit (0,01–1) Gew.-% als zweites Metall, – Wolfram als erstes und Kobalt mit (0,01–1) Gew.-%...
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