发明名称 Elektrostatischer Scheibenhalter
摘要 Elektrostatischer Scheibenhalter, der folgendes umfasst: a) einen Scheibenhalterkörper (12), b) eine Elektrode (14), die in dem Scheibenhalterkörper (12) eingebettet ist: und c) einen elektrischen Kontakt (22), der sich von der Elektrode (14) aus erstreckt, wobei sowohl die Elektrode (14) als auch der elektrische Kontakt (22) ein erstes Metall enthalten und der elektrische Kontakt (22) und die Elektrode (14) eine Legierung aus dem ersten Metall und einem zweiten Metall enthalten, wobei das ganze zweite Metall in dem ersten Metall gelöst ist, und wobei das erste und das zweite Metall aus einer der folgenden Gruppen ausgewählt werden: – Molybdän als erstes und Nickel mit (0,001–5) Gew.-% als zweites Metall, – Molybdän als erstes und Kobalt mit (0,01–15) Gew.-% als zweites Metall, – Wolfram als erstes und Nickel mit (0,01–1) Gew.-% als zweites Metall, – Wolfram als erstes und Kobalt mit (0,01–1) Gew.-%...
申请公布号 DE10085266(B4) 申请公布日期 2011.08.11
申请号 DE20001085266 申请日期 2000.12.05
申请人 SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE) 发明人 DIVAKAR, RAMESH;ZANDI, MORTEZA
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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