碱性显影液组成物

摘要

本发明的碱性显影液是应用在感旋光性树脂对紫外(UV)曝光后的图像形成，其组成物包括有(A)纯水、(B)至少一种碱性化合物、(C)含量小于500ppm的消泡剂、(D)至少一种总含量0.05～10％的非离子界面活性剂；其中，非离子界面活性剂的结构式为：其重点在于：非离子界面活性剂的结构式当中的R1为氢(-H)或甲烷(-CH3)；EO为环氧乙烷(polyoxyethylene)；PO为环氧丙烷(polyoxypropylene)，m和n不可为同时为零、m+n小于25，R2为疏水基。

主权项

1.一种碱性显影液组成物，其组成物包括有纯水、至少一种碱性化合物、含量小于500ppm的消泡剂用于改善显影液的消泡性，至少一种总含量0.05～10％的非离子界面活性剂；其中该碱性化合物选自于下列所构成的群组中：碱金属氢氧化物、碱土金属氢氧化物以及结构式为：的有机铵类，其中R₁～R₃为氢、烃基、羟烷基，且其中至少一个为羟烷基；其中该非离子界面活性剂的结构式为：其中：该非离子界面活性剂的结构式当中的R₁为氢或甲基；EO为氧化乙烯单元；PO为氧化丙烯单元，m和n不能同时为零、m+n小于25，R₂为疏水基，其中疏水基的HLB值控制在9～16，HLB＝7+11.7log(M_W/M_O)，其中M_O表示亲油基的分子量，M_W表示亲水基的分子量；该疏水基为选自于下列所构成的群组中：(A)具有下式(b)的烷基联苯类：其中R₁为氢原子或烷基；(B)具有下式(c)的环烷类：其中R₁～R₃为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基；R₃在环的任一位置；(C)具有下式(d)的并环类：其中R₁～R₆为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基；以及(D)具有下式(e)的并环烯基：其中R₁～R₆为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基。