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发明名称 METHOD FOR DEPOSITION OF METAL LAYERS FROM METAL CARBONYL PRECURSORS
摘要
申请公布号 EP1828430(B1) 申请公布日期 2011.08.10
申请号 EP20050807544 申请日期 2005.10.03
申请人 TOKYO ELECTRON LTD.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SUZUKI, KENJI;GUIDOTTI, EMMANUEL;LEUSINK, GERRIT, J.;MCFEELY, FENTON, R.;MALHOTRA, SANDRA G.
分类号 C23C16/16 主分类号 C23C16/16
代理机构 代理人
主权项
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