| 发明名称 | 基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法，其包括以下步骤：在衬底上先镀上一铝层；在铝层表面均匀涂敷一微球结构层，并在微球表面蒸镀耐蚀性金属，蒸镀的耐蚀性金属将通过微球结构层间隙沉积在铝层表面，再将微球结构层去除；用稀酸进行腐蚀，在铝层上所蒸镀的金属之间形成凹坑，完成预成型的过程；利用浓酸将铝层上的耐蚀性金属去除；对铝层进行阳极氧化，形成具有预设孔洞结构图形的氧化铝层；利用氧化铝层作为掩模，通过刻蚀将氧化铝层上的孔洞结构图形转移到衬底上；去除氧化铝层，得到亚微米图形的衬底。本发明具有操作简单、快速、成本较低、孔径可控的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101660187B | 申请公布日期 | 2011.08.10 |
| 申请号 | CN200910192331.9 | 申请日期 | 2009.09.15 |
| 申请人 | 中山大学 | 发明人 | 张佰君;黄智聪;王钢 |
| 分类号 | C25D11/16(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L27/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I | 主分类号 | C25D11/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人 | 禹小明 |
| 主权项 | 一种基于预成型阳极氧化铝的亚微米图形衬底制作方法，其特征在于包括以下步骤：(1)在衬底上先镀上一铝层；(2)在铝层表面均匀涂敷一微球结构层，并在微球表面蒸镀耐蚀性金属，蒸镀的耐蚀性金属将通过微球结构层间隙沉积在铝层表面，再将微球结构层去除；所述耐蚀性金属为金、镍、铬或锡；(3)用稀酸进行腐蚀，在铝层上所蒸镀的金属之间形成凹坑，完成预成型的过程；(4)利用浓酸将铝层上的耐蚀性金属去除；(5)对铝层进行阳极氧化，形成具有预设孔洞结构图形的氧化铝层；(6)利用氧化铝层作为掩模，通过刻蚀将氧化铝层上的孔洞结构图形转移到衬底上；(7)去除氧化铝层，得到亚微米图形的衬底。 | ||
| 地址 | 510275 广东省广州市新港西路135号 | ||