可湿式蚀刻的叠层体、绝缘薄膜及使用其的电子电路部件

摘要

本发明提供一种具有具备可抑制粉尘产生的性质的绝缘层的叠层体、由该绝缘层构成的绝缘薄膜、以及对绝缘层进行图案形成加工而成的电子电路部件；涉及由第1无机物层-绝缘层-第2无机物层、或者无机物层-绝缘层构成的层结构的叠层体，其特征是，该绝缘体由可进行湿式蚀刻的两层以上的绝缘单元层叠层而成，在该无机物层与该绝缘层的界面处，无机物层的表面凹凸转印到绝缘层上，转印到该绝缘层上的凹凸的平均高度小于绝缘层的最外侧的绝缘单元层的厚度。

主权项

一种绝缘薄膜，由pH值大于7的碱性蚀刻液能够进行湿式蚀刻的两层以上的绝缘单元层叠层而成，其特征是，该绝缘薄膜是用来与无机物层进行叠层的绝缘薄膜，该无机物层的表面凹凸的平均高度小于绝缘层的最外侧的绝缘单元层的厚度。