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发明名称 PATTERNING OF MAGNETIC THIN FILM USING ENERGIZED IONS
摘要
申请公布号 KR20110090943(A) 申请公布日期 2011.08.10
申请号 KR20117011703 申请日期 2009.10.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 NALAMASU OMKARAM;VERHAVERBEKE STEVEN;FOAD MAJEED;VENKATESAN MAHALINGAM;KRISHNA NETY M.
分类号 G11B5/84 主分类号 G11B5/84
代理机构 代理人
主权项
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