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发明名称
摘要
申请公布号	JP4746021(B2)	申请公布日期	2011.08.10
申请号	JP20070265810	申请日期	2007.10.11
申请人		发明人
分类号	H01L29/786;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/417	主分类号	H01L29/786
代理机构		代理人
主权项
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