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Vorrichtung zur Laserbearbeitung von Werkstücken, mit – einem Bearbeitungskopf (1), aus dem ein Laserstrahl (2) austritt und auf die Oberfläche (11) des zu bearbeitenden Werkstücks (10) auftrifft und dort das Werkstück (10) zumindest lokal in einer thermischen Wirkzone (W) erwärmt, – einer Temperaturmesseinrichtung (3) mit einem strahlungssensitiven Detektor (14.6b), welche die Temperatur des Werkstücks oder einen zur Temperatur des Werkstücks proportionalen Parameter an mehreren innerhalb der Wirkzone (W) im Abstand zueinander liegenden Messstellen (4a, 4b, 4c, 4d) erfasst und ein ortsaufgelöstes Temperaturprofil der Wirkzone (W) ermittelt, – einer Messeinrichtung (5, 20.6, 20.7, 20.8), welche berührungslos an jeder Messstelle (4) einen Messabstand (d) zur Oberfläche (11) des Werkstücks (10) sowie die Emissivität der Oberfläche (11) ermittelt, – einer Auswerteeinrichtung, welche die von der Messeinrichtung (5, 20.6, 20.7, 20.8) ermittelten Messwerte verwendet, um die von der Temperaturmesseinrichtung (3) erfasste Temperatur von jeder Messstelle (4) zu korrigieren.
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