Austauschgateverfahren auf der Grundlage eines Umkehrabstandhalters, der vor der Abscheidung des Austrittsarbeitsmetalls aufgebracht wird

摘要

In einem Austauschgateverfahren wird ein Abstandshalter in der Gateöffnung nach dem Entfernen des Platzhaltermaterials hergestellt, wodurch eine bessere Querschnittsform bei der Erzeugung von Elektrodenmetallen in der Gateöffnung erreicht wird. Ferner kann der Abstandshalter verwendet werden, um die Gatelänge zu verringern, ohne dass komplexere Gatestrukturierungsstrategien erforderlich sind.