| 摘要 |
<p>【課題】使用環境や設置環境にかかわらず、常に正確な検出値を得ることができる外力の作用を検出するセンサを提供する。【解決手段】シリコン基板１００は、重錘部１１５と、その周囲を取り囲むフレーム部１３０との間を、可撓性をもった４本のビーム状の可撓部１２１〜１２４で繋いだ構造をもつ。フレーム部１３０の左端下面は、ダイボンド剤３２０によって支持体２００に固着される（平面図（ａ） に示すダイボンド剤３２０は、実際には、シリコン基板１００の下面に形成されている）。加速度や角速度の作用により、重錘部１１５に外力が作用すると、可撓部１２１〜１２４に撓みが生じ、ピエゾ抵抗素子Ｒｘ１〜Ｒｘ４による検出がなされる。ダイボンド剤３２０は、左右非対称となるように左端側にのみ形成されているため、温度環境や設置環境が変化しても、支持体２００側に生じた応力歪みがシリコン基板１００側に伝達されるのを抑制できる。【選択図】図８</p> |
