用于光刻胶的抗反射组合物

摘要

本发明涉及一种包含可通过以下方式得到的聚合物的涂料溶液：将甘脲化合物与至少一种含有至少一个羟基和/或至少一个酸基的反应性化合物反应，并且进一步其中该聚合物可溶于有机溶剂。本发明还涉及一种将涂覆在该涂料组合物上的光刻胶成像的方法，并且涉及一种用于该涂料组合物的聚合物。

主权项

一种用作抗反射涂料的包含可通过以下方式得到的聚合物的涂料溶液：将至少一种甘脲化合物与至少一种含有2个或更多个羟基的反应性化合物反应，并且进一步其中该聚合物可溶于有机溶剂，和该涂料溶液进一步包含有机溶剂混合物。