发明名称 高效率蓝宝石晶体长晶炉
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.08.01
申请号 TW100201726 申请日期 2011.01.26
申请人 庄育丰 发明人 庄育丰
分类号 C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人
主权项 一种「高效率蓝宝石晶体长晶炉」,主要包括有真空炉体,该真空炉体分隔为上炉体与下炉体,上炉体内设有第一坩埚,第一坩埚外缘设有加热元件,加热元件外缘设有隔热装置,第一坩埚设有旋动件,旋动件连结外部旋动装置,以令第一坩埚旋动,第一坩埚底端设有阀体,阀体连结外部阀体控制装置以控制阀体之启闭,阀体下端具管体连通下炉体,上炉体另具有进气孔及排气孔,以分别连通外部气体供应装置及排气装置,真空炉体外部并具有中央控制装置,分别连结排气装置对真空炉体内抽真空,连结气体供应装置提供真空炉体内气氛气体,连结加热元件电源令加热元件对第一坩埚加热,连结旋动装置以控制第一坩埚之旋转,及连结阀体控制装置控制阀体之启闭,该真空炉体与隔热装置间设有冷却槽,冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置,冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置,该下炉体设有第二坩埚,该第二坩埚开口端位于管体下方,其内部置有籽晶。如申请专利范围第1项所述之「高效率蓝宝石晶体长晶炉」,其中,该籽晶设于第二坩埚底端。如申请专利范围第1项所述之「高效率蓝宝石晶体长晶炉」,其中,该籽晶设于第二坩埚侧方。如申请专利范围第1项所述之「高效率蓝宝石晶体长晶炉」,其中,该第二坩埚设有昇降装置。如申请专利范围第1或第4项所述之「高效率蓝宝石晶体长晶炉」,其中,该第二坩埚设有位移装置。
地址 桃园县八德市文昌街111巷8号