| 主权项 |
一种光罩之制作方法，包括：提供一透明基板；及形成一第一图案化阻光层于该透明基板上，其中该图案化阻光层系可被移除，且形成或移除该图案化阻光层之过程中系不损伤该透明基板。如申请专利范围第1项所述之光罩之制作方法，其中该透明基板系为玻璃基板。如申请专利范围第1项所述之光罩之制作方法，其中该第一图案化阻光层系由高分子、金属或其它具阻光性质之材料所组成。如申请专利范围第1项所述之光罩之制作方法，其中形成该第一图案化阻光层于该透明基板上之步骤系采用喷墨、物理沉积、化学沉积或电镀方法。如申请专利范围第1项所述之光罩之制作方法，尚包括：移除该第一图案化阻光层；及形成第二图案化阻光层于该透明基板上。如申请专利范围第5项所述之光罩之制作方法，其中形成该第二图案化阻光层于该透明基板上之步骤系采用喷墨、物理沉积、化学沉积或电镀方法。如申请专利范围第5项所述之光罩之制作方法，其中该第二图案化阻光层之图案和该第一图案化阻光层之图案系不同。一种光罩，包括：一透明基板，包括一平整之表面；及一图案化阻光层，位于该透明基板之平整的表面上，其中该图案化阻光层系可被移除。如申请专利范围第8项所述之光罩，其中该图案化阻光层系由高分子、金属或其它具阻光性质之材料所组成。如申请专利范围第8项所述之光罩，其中该透明基板系为玻璃基板。 |
