发明名称 细缝喷嘴
摘要
申请公布号 TWI346346 申请公布日期 2011.08.01
申请号 TW095135824 申请日期 2006.09.27
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 高濑真治;升芳明
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种细缝喷嘴,系在被处理物之表面涂布特定宽幅之涂布液,其特征为:前述细缝喷嘴,系在左右之半体处,于宽幅方向上而形成有螺杆插通用之贯通孔,在前述左右之半体中的至少其中一方之半体的接合面处,开口有前述螺杆插通用之贯通孔的沟,系于长度方向上而连续地形成。如申请专利范围第1项所记载之细缝喷嘴,其中,前述螺杆插通用之贯通孔,系被形成为上下2段,各段之螺杆插通用之贯通孔所开口的沟,系被形成为上下2段。
地址 日本