发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 CH349705(A) 申请公布日期 1960.10.31
申请号 CHD349705 申请日期 1957.07.17
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DORENDORF,HEINZ,DR.
分类号 C23F1/02;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/24;H01L21/306;H01L21/318;H01L29/00;H01L29/06;H01L29/73 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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