摘要 |
Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen Läufer antreiben, wobei die Aktoren auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Mehrschicht-Keramik-Hybridanordnungen sind und innerhalb eines jeweiligen Stapels ausgehend vom Substrat ein erstes Stapelteil als Longitudinal- und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet ist, um gegenphasige wechselseitige Klemm- und Vorschubbewegungen des Läufers auszuführen, dadurch gekennzeichnet, dass stellbereichsvergrößernd im Läufer oder an dessen freiem Ende ein getrennt ansteuerbarer, zusätzlicher piezoelektrischer Vielschichtaktor angeordnet ist.
|