一种氟基水溶液生长二氧化钛薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种在各种基体上制备高致密度、高催化活性的锐钛矿二氧化钛薄膜的方法，主要包括以下步骤：首先在基体上沉积无定形二氧化钛种子层；然后将种子层置于含钛盐稳定剂的摩尔浓度为0.01-0.2mol·L-1的钛盐生长溶液中生长；再将生长后的薄膜进行清洗和干燥处理，即得。本发明的方法提高了薄膜的致密度，使薄膜在可见光区具有高达80％以上的透光率；实现了薄膜单一c轴方向外延生长，且结晶度大大提高。另外，由于该方法采用低温工艺和廉价的原料，且在生长过程中原材料消耗少，工艺简单，大大降低了生产成本，制备的薄膜在太阳能电池、防雾和自清洁涂层、干涉涂层、光栅、微电子和电致发光器件等领域具有潜在的应用前景。

主权项

一种氟基水溶液生长二氧化钛薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)在基体上沉积无定形二氧化钛种子层；(2)将种子层置于生长溶液中生长；(3)将生长后的薄膜进行清洗和干燥处理；所述生长溶液是在摩尔浓度为0.01‑0.2mol·L‑1的钛盐水溶液中加入钛盐稳定剂配制而成，钛盐稳定剂与钛盐的摩尔比为0‑1∶2，钛盐稳定剂不包括0，钛盐为四氟化钛、六氟钛酸铵或其混合物，钛盐稳定剂为氢氟酸、氟化铵、氟化钠和氟化钾中的一种或多种；所述种子层生长成薄膜的生长温度为70‑100℃，生长时间为6‑72小时。