发明名称 |
氧化物蒸镀材料和高折射率透明膜 |
摘要 |
本发明的氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且铈含量以Ce/In原子数比为超过0.110且为0.538以下的烧结体构成,CIE1976色系中的L*值为62~95。由于L*值为62~95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量,因此,即使向成膜真空槽中的氧气导入量少,也能够以真空蒸镀法制造出波长550nm下的折射率为2.15~2.51的、低电阻且可见光~近红外光区域中为高透过性的高折射率透明膜,并且,由于氧气导入量少,所以能够减小膜与蒸镀材料之间的组成偏差。 |
申请公布号 |
CN102134700A |
申请公布日期 |
2011.07.27 |
申请号 |
CN201010583539.6 |
申请日期 |
2010.12.07 |
申请人 |
住友金属矿山株式会社 |
发明人 |
阿部能之;和气理一郎;桑原正和;前野泰行 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I;G02B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
菅兴成;吴小瑛 |
主权项 |
一种氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且含有铈的烧结体构成,并且,铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,CIE1976色系中的L*值为62~95。 |
地址 |
日本国东京都 |