发明名称 氧化物蒸镀材料和高折射率透明膜
摘要 本发明的氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且铈含量以Ce/In原子数比为超过0.110且为0.538以下的烧结体构成,CIE1976色系中的L*值为62~95。由于L*值为62~95的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量,因此,即使向成膜真空槽中的氧气导入量少,也能够以真空蒸镀法制造出波长550nm下的折射率为2.15~2.51的、低电阻且可见光~近红外光区域中为高透过性的高折射率透明膜,并且,由于氧气导入量少,所以能够减小膜与蒸镀材料之间的组成偏差。
申请公布号 CN102134700A 申请公布日期 2011.07.27
申请号 CN201010583539.6 申请日期 2010.12.07
申请人 住友金属矿山株式会社 发明人 阿部能之;和气理一郎;桑原正和;前野泰行
分类号 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I;G02B11/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/08(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 菅兴成;吴小瑛
主权项 一种氧化物蒸镀材料,其特征在于,由以氧化铟作为主要成分且含有铈的烧结体构成,并且,铈的含量以Ce/In原子数比为超过0.110且0.538以下,CIE1976色系中的L*值为62~95。
地址 日本国东京都