具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法

摘要

具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法，它涉及一种多孔热释电薄膜的制备方法。它解决了现有方法制备出的多孔热释电薄膜中织构难以形成、漏电流大及薄膜表面质量差的问题。方法：一、制备热释电薄膜A；二、在薄膜A的基础上，制备得到热释电薄膜B；三、将钛酸铅镧钙系铁电薄膜再沉积到热释电薄膜B上，然后进行退火结晶处理，即得具有“三明治”结构的多孔热释电薄膜。本方法制备出来的多孔热释电薄膜具有优异的铁电性能的同时，保持强织构、低漏电流及薄膜表面光滑、致密的优点，本发明工艺简单、设备简单及所用原材料价格低廉、成本低，并易于器件集成，适合于工业化生成。

主权项

具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的制备方法，其特征在于制备具有“三明治”结构的多孔强织构热释电薄膜的方法按以下步骤实现：一、在基底上沉积一层厚度为18～22nm的钛酸铅镧钙系铁电薄膜，然后在温度为400～500℃条件下进行退火结晶处理，得薄膜A；二、在薄膜A上继续沉积一层厚度为400～500nm的聚乙烯吡咯烷酮复合膜，然后在温度为550～700℃条件下进行退火结晶处理，得薄膜B；三、在薄膜B上沉积一层厚度为18～22nm的钛酸铅镧钙系铁电薄膜，然后在温度为400～500℃条件下进行退火结晶处理，即得具有“三明治”结构的多孔热释电薄膜；其中步骤二中聚乙烯吡咯烷酮复合膜按质量比由0.01～0.05∶1的聚乙烯吡咯烷酮和铁电溶胶组成，其中铁电溶胶为钛酸铅铁电溶胶、锆钛酸铅铁电溶胶或铌‑锆钛酸铅铁电溶胶；步骤一与步骤三中的钛酸铅镧钙系铁电薄膜相同，其中钛酸铅镧钙系铁电薄膜的分子式为(Pb1‑x‑yLaxCay)Ti1‑x/4O3，其中0≤X≤0.24，0≤Y≤0.24。