循环利用蒸发装置的结晶传感器的方法

摘要

本发明公开了一种清洗蒸发装置的结晶传感器的方法，其中为了重复利用装置，清洗监控蒸发级别的结晶传感器，该方法包括在结晶传感器对蒸发并沉积在基板上的材料实施预设的时间周期的监控步骤之后，收集该结晶传感器，通过将该结晶传感器浸入湿刻蚀剂中清洗该结晶传感器，以及干燥所清洗的结晶传感器。

主权项

一种循环利用蒸发装置的结晶传感器的方法，包括：在结晶传感器对蒸发并沉积在基板上的材料实施预定时间周期的监控步骤之后收集具有彼此相对的第一和第二接触电极以及在第一和第二接触电极之间的有铝或特富龙的母金属的结晶传感器；通过将所述结晶传感器浸入湿刻蚀剂中清洗所述结晶传感器，其中所述湿刻蚀剂为有机溶剂；将去离子水施加到第一和第二接触电极的表面上，来去除蒸发沉积在第一和第二接触电极的表面上的残余有机材料；以及干燥所清洗后的结晶传感器。