一种栅状电极位移传感器

摘要

本发明公开了一种栅状电极位移传感器，包括栅状的发射电极组和接收电极，还包括制作有栅状发射传输电极组和引出电极组的柔性线路板，栅状发射电极组制作在发射电极基片上，用异方导通层将柔性线路板上各条发射传输电极分别与发射电极基片上各条发射电极一一搭接连通，在柔性线路板上、甚至是在柔性线路板外将各条同相位的发射电极相互连通，制成栅状电极位移传感器。本发明避免了让细密的发射电极在发射电极基片上相互导通的制作困难，使得栅状发射电极的细密度，不会因同相位发射电极连通点的制作极限而受到限制，从而实现高密度栅状电极位移传感器，使分辨率达到0.001mm或以上。

主权项

一种栅状电极位移传感器，包括栅状的发射电极组和接收电极，栅状发射电极组制作在发射电极基片上，其特征在于：还包括制作有栅状发射传输电极组和引出电极组的柔性线路板，所述发射电极基片上栅状发射电极的数量，与所述柔性线路板上栅状发射传输电极的数量是相同的；所述柔性线路板边缘各发射传输电极的排列位置与发射电极基片边缘各发射电极的排列位置是相同的，柔性线路板边缘上各条发射传输电极在发射电极基片的边缘分别与各条发射电极一一对准搭接连通；所述柔性线路板上的引出电极与栅状发射传输电极相交，每条引出电极与栅状发射传输电极中同相位的发射传输电极都通过导通孔相连通，各条引出电极依次与栅状发射传输电极中不同相位的发射传输电极连通。