| 主权项 |
一种用来控制连结至一半导体制程系统的一变速真空泵的抽气速度之泵速控制器，该泵速控制器包含：一处理器；连结至该处理器之一感应器介面，用来接收来自至少一个感应器的感应器输入，其中该至少一个感应器的每一者系经配置以监控该半导体制程系统内的一或多个控制讯号；含有泵速控制软体的一记忆体，用来配置该处理器以根据监控到的控制讯号产生一泵速控制讯号；以及一泵介面，用来将该泵速控制讯号传输至该变速真空泵。如申请专利范围第1项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含该半导体制程系统内之一电子控制讯号。如申请专利范围第1项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含该半导体制程系统内之一气动控制讯号。如申请专利范围第1项所述之泵速控制器，其中该泵速控制讯号控制该变速真空泵的抽气速度。如申请专利范围第1项所述之泵速控制器，其中该泵速控制软体包含数个可选择的运算法。一种用来控制连结至一半导体制程系统的一变速真空泵的抽气速度之泵速控制器，该泵速控制器包含：用来接收来自至少一个感应器的感应器输入之一感应器介面，其中该至少一个感应器监控该半导体制程系统内的一或多个控制讯号；连结至该感应器介面的一处理器，其中该处理器接收来自该感应器介面的至少一个感应器讯号，且其中该处理器使用一或多个演算法根据该至少一个感应器讯号来决定泵速；以及连结至该处理器的一泵介面，用来将该处理器所产生之泵速控制讯号传输至该变速真空泵，其中该泵速控制讯号系对应于所决定的泵速。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含该半导体制程系统内之一电子控制讯号。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含该半导体制程系统内之一气动控制讯号。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含一泄放阀(vent valve)控制讯号，其控制连结至一真空反应室的一泄放阀。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含一清洁阀(purge valve)控制讯号，其控制连结至一真空反应室的一清洁阀。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含一慢速泵阀控制讯号，其控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一慢速泵阀。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中藉由该感应器介面所接收的该感应器输入包含一快速泵阀控制讯号，其控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一快速泵阀。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中该处理器产生该泵速控制讯号以控制该变速真空泵的该抽气速度。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中该一或多个运算法系经配置为连结至该处理器之一记忆体内的软体。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中该一或多个运算法系经配置为该处理器内的韧体。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中该泵速控制器进一步包含用来选择一或多个演算法的其中之一的一使用者选择开关。如申请专利范围第16项所述之泵速控制器，其中该使用者选择开关至少包含一指拨开关(dip-switch)。如申请专利范围第6项所述之泵速控制器，其中该处理器藉由选择一预定的速度设定点来决定该泵速。一种半导体制程系统，包含：一真空反应室；连结至该真空反应室之一变速真空泵；连结至该真空反应室的一系统控制器，其中该系统控制器传输控制讯号至该真空反应室的附属设备；以及连结至该变速真空泵之一泵速控制器，其中该泵速控制器监控由该系统控制器传输的该等控制讯号，且其中该泵速控制器根据所监控到的控制讯号来决定一泵速。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中该泵速控制器利用一或多个运算法来决定该泵速。如申请专利范围第20项所述之半导体制程系统，其中该泵速控制器包含用来选择一或多个演算法的其中之一的一使用者选择开关。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号含有数个电子控制讯号。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号含有数个气动控制讯号。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中该泵速控制器利用一个或多个感应器来监控由该系统控制器传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中由该系统控制器传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号控制连结至该真空反应室的附属设备之一泄放阀。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中由该系统控制器传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号控制配置在该真空反应室和该变速真空泵之间的一慢速泵阀。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中由该系统控制器传输至该真空反应室的附属设备之该等控制讯号控制配置在该真空反应室和该变速真空泵之间的一快速泵阀。如申请专利范围第19项所述之半导体制程系统，其中该泵速控制器传输与所决定的泵速成比例的一泵速控制讯号至该变速真空泵。一种操作连结至一半导体制程系统的一变速真空泵的方法，该方法包含以下步骤：监控该半导体制程系统之一第一控制讯号；根据该所监控到的第一控制讯号来决定一泵速；以及传输一第二控制讯号至该变速真空泵，其中该第二控制讯号对应于该泵速，藉此将该变速真空泵之速度改变，以于该泵速下运转。如申请专利范围第29项所述之方法，其中监控该第一控制讯号的步骤包含以下步骤：以一感应器来感测该第一控制讯号。如申请专利范围第29项所述之方法，其中决定该泵速之步骤包含以下步骤：使用针对该半导体制程系统的各种特性构成的一演算法。如申请专利范围第29项所述之方法，其中该第一控制讯号控制连结至一真空反应室的一泄放阀的该运作。如申请专利范围第29项所述之方法，其中该第一控制讯号控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一泵阀的该运作。如申请专利范围第29项所述之方法，进一步包含以下步骤：监控该半导体制程系统之一感应器讯号并且根据该所监控到的第一控制讯号和所监控到的感应器讯号来决定一泵速。如申请专利范围第34项所述之方法，其中该第一控制讯号控制连结至一真空反应室的一泄放阀的该运作，且该感应器讯号对应于该真空反应室内的一压力。如申请专利范围第34项所述之方法，其中该第一控制讯号控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一泵阀的运作，且该感应器讯号对应于该真空反应室内的一压力。一种含有一程式之可电脑读取的媒体，其中当执行时，该程式会执行一操作以控制至少包含与该变速泵以流体交流的一真空反应室之半导体制程系统中的一变速泵，该操作包含以下步骤：监控该半导体制程系统之一第一控制讯号；根据该所监控到的第一控制讯号来决定泵速；以及传输一第二控制讯号至该变速真空泵，其中该第二控制讯号系对应于该泵速，藉此将该变速真空泵的速度改变，以于该泵速下运转。如申请专利范围第37项所述之可电脑读取的媒体，其中监控该第一控制讯号包含以一感应器来感测该第一控制讯号。如申请专利范围第37项所述之可电脑读取的媒体，其中决定该泵速包含使用针对该半导体制程系统的各种特性构成的一演算法。如申请专利范围第37项所述之可电脑读取的媒体，其中该第一控制讯号控制连结至一真空反应室的一泄放阀的运作。如申请专利范围第37项所述之可电脑读取的媒体，其中该第一控制讯号控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一泵阀的运作。如申请专利范围第37项所述之可电脑读取的媒体，进一步包含监控该半导体制程系统之一感应器讯号，并且根据该所监控到的第一控制讯号和所监控到的感应器讯号来决定一泵速。如申请专利范围第42项所述之可电脑读取的媒体，其中该第一控制讯号控制连结至一真空反应室的一泄放阀的运作，并且该感应器讯号对应于该真空反应室内的一压力。如申请专利范围第42项所述之可电脑读取的媒体，其中该第一控制讯号控制配置于一真空反应室和该变速真空泵之间的一泵阀的运作，且该感应器讯号对应于该真空反应室内的一压力。 |
