发明名称 |
基于合成波长的激光波长测量方法及装置 |
摘要 |
本发明公开了一种基于合成波长的激光波长测量方法及装置。选用一个波长稳定度较高的激光器作为参考激光器,参考激光器的光束和待测激光器的光束被调制为正交线偏振光后,入射同一迈克尔逊干涉仪,分别形成各自的干涉信号。当迈克尔逊干涉仪中的测量臂移动时,参考光和待测光的干涉信号的相位关系将发生变化,当这两路干涉信号的相位差变化2π时对应于测量臂移动半个由参考光和待测光形成的合成波长的位移。通过检测两路干涉信号两次同时过零点位置便可测得合成波长值,根据待测激光波长和参考激光波长与合成波长之间的关系,即可得到待测激光的波长值。本发明具有较强的环境抗干扰能力,波长测量精度可以达到10-8以上,成本低,易于实用化。 |
申请公布号 |
CN101832821B |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN201010140137.9 |
申请日期 |
2010.04.02 |
申请人 |
浙江理工大学 |
发明人 |
陈本永;严利平;杨涛;李超荣;唐为华 |
分类号 |
G01J9/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01J9/02(2006.01)I |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
代理人 |
林怀禹 |
主权项 |
一种基于合成波长的激光波长测量方法,其特征在于:参考激光器和待测激光器的光束经各自的检偏器后,成为正交线偏振光,入射到迈克尔逊干涉仪,形成各自的干涉信号分别由两个探测器接收;当迈克尔逊干涉仪中的测量臂移动时,参考光和待测光的干涉信号的相位关系将发生变化;当这两路干涉信号相位差变化2π时,对应于测量臂移动半个合成波长的位移;因此,通过检测这两路干涉信号的两次同时过零点的位置,便能测得合成波长值,根据待测激光波长λU和参考激光波长λR与合成波长λS之间的关系,即能得到待测激光的波长为: <mrow> <msub> <mi>λ</mi> <mi>U</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>λ</mi> <mi>S</mi> </msub> <msub> <mi>λ</mi> <mi>R</mi> </msub> </mrow> <mrow> <msub> <mi>λ</mi> <mi>S</mi> </msub> <mo>±</mo> <msub> <mi>λ</mi> <mi>R</mi> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>.</mo> </mrow> |
地址 |
310018 浙江省杭州市江干区经济技术开发区白杨街道2号大街5号 |