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发明名称
摘要
申请公布号 JP4729872(B2) 申请公布日期 2011.07.20
申请号 JP20040176676 申请日期 2004.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/338;H01L21/205;H01L21/28;H01L29/417;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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