| 发明名称 | 基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够减小内部腔室内的空间容量的基板处理装置。该基板处理装置(10)包括：外部腔室(13)、收容在该外部腔室(13)内的空间(ES)中的内部腔室(14)、和用于向该内部腔室(14)内的空间(IS)中供给处理气体的处理气体供给部(23)，外部腔室(13)内的空间(ES)被维持在大致真空，内部腔室(14)具有与台加热器(17)和机壳基部(18)一起构成该内部腔室(14)内的空间(IS)的机壳(19)，当利用搬送晶片W的搬送臂(12)搬入搬出基板时，机壳(19)以从搬送臂(12)的可动区域退出的方式与机壳基部(18)(台加热器(17))分离。 | ||
| 申请公布号 | CN101236894B | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN200810008942.9 | 申请日期 | 2008.01.31 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 田原慈;高山星一;高梨守弘 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其特征在于，包括：外部腔室；收容在该外部腔室内的空间中的内部腔室；和向该内部腔室内的空间供给处理气体的气体供给部，其中，所述外部腔室内的空间被减压或者向该空间中填充非活性气体，所述内部腔室具有与其他构成部件构成该内部腔室内的空间的可动构成部件，所述其他构成部件不能移动，在所述内部腔室内对基板进行处理时，使所述内部腔室相对于所述外部腔室密封，当通过搬送基板的搬送臂搬入搬出所述基板时，所述可动构成部件从所述搬送臂的可动区域退出，所述气体供给部具有与所述内部腔室内的空间连通的气体供给管，该气体供给管具有用于开闭该气体供给管的开闭阀，该开闭阀被配置在所述内部腔室的附近。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||