| 发明名称 | 用于基底的清洁溶液配方 | ||
| 摘要 | 本发明的一个实施方案提供了一种清洁溶液，所述清洁溶液包含腐蚀抑制剂、增溶剂、除氧剂和同时能作为pH调节剂的络合剂。本发明的另一实施方案包括包含pH调节剂、任选络合剂和腐蚀抑制剂的清洁溶液。所述清洁溶液可任选存在增溶剂，可任选存在表面活性剂和可任选存在电介质蚀刻剂。 | ||
| 申请公布号 | CN102131911A | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN200980134112.3 | 申请日期 | 2009.09.03 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 阿尔图尔·科利奇;弗里茨·雷德克 |
| 分类号 | C11D7/32(2006.01)I | 主分类号 | C11D7/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种清洁溶液，包含：腐蚀抑制剂；增溶剂；除氧剂；和同时能作为pH调节剂的络合剂。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||