缺陷检测装置、缺陷检测方法、缺陷检测程序、及记录有该程序的计算机可读取的记录介质

摘要

本发明的目的在于提供一种缺陷检测装置(1)。该缺陷检测装置(1)由于包括：第一差分运算电路(23a)，该第一差分运算电路(23a)计算比较对象像素群中所包含的各比较对象像素的亮度值(P1～P8)、和被检查像素的亮度值(P0)之差分；第二差分运算电路(23b)，该第二差分运算电路(23b)计算比较对象像素群中所包含的各比较对象像素的亮度值(P1’～P8’)、和被检查像素的亮度值(P0)之差分；比较/选择电路(24)，该比较/选择电路(24)选择上述计算出的差分中的绝对值最小的差分作为缺陷检测用指标；以及缺陷判定部(13)，该缺陷判定部(13)基于该比较/选择电路(24)所选择的缺陷检测用指标、和预先决定的阈值之间的大小关系，来对上述检查对象物的与上述被检查像素相对应的位置是否有缺陷进行判定，因此能够抑制伪缺陷的发生，并能高精度地进行缺陷检测。

主权项

一种缺陷检测装置，其特征在于，基于被检查像素的亮度值和比较对象像素的亮度值，对所述检查对象物的缺陷进行检测，所述被检查像素的亮度值是从对检查对象物进行拍摄而获得的图像、即具有亮度值以一定的周期重复的图案的图像中提取出的，所述比较对象像素是从离开所述被检查像素所述一定的周期的像素中选出的，所述比较对象像素的亮度值是从所述图像中提取出的，包含多个所述比较对象像素、且互不相同的多个比较对象像素群与所述被检查像素相对应，包括：指标计算单元，该指标计算单元对于所述多个比较对象像素群的各比较对象像素群，来计算表示所述比较对象像素群中所包含的各比较对象像素的亮度值、与所述被检查像素的亮度值的偏差的大小的指标；指标选择单元，该指标选择单元将所述指标计算单元计算出的指标中的、绝对值最小的指标选择作为缺陷检测用指标；以及缺陷判定单元，该缺陷判定单元基于所述指标选择单元所选择的缺陷检测用指标、和预先决定的阈值的大小关系，来对所述检查对象物的与所述被检查像素相对应的位置是否有缺陷进行判定。