复合基板及使用其的弹性波器件

摘要

本发明提供一种复合基板，其用于弹性表面波器件，耐热性优异。复合基板(10)具有：压电基板(12)，其由钽酸锂(LT)形成，能够传播弹性波；支持基板(14)，其在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板(12)的背面，其为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板；粘合两基板(12)、(14)的粘合层(16)。

主权项

一种复合基板，其具有：压电基板，所述压电基板能够传播弹性波；支持基板，所述支持基板在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板的背面，为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板。