线路基板及其制作方法

摘要

本发明公开一种线路基板及其制作方法。该线路基板的制作方法是：首先，形成一光波导层在一第一基板的一表面上。移除部分光波导层，以形成一沟槽，而每个沟槽具有一斜面。接着，在斜面上形成一第一反射层。移除部分第一基板，以形成一光通孔，光通孔对应位于第一反射层的上方，且光通孔具有第一孔径以及第二孔径，其中第一孔径小于第二孔径。之后，形成一第二反射层在光通孔的内壁上。

主权项

一种线路基板的制作方法，包括：形成一光波导层在一第一基板上；移除部分该光波导层，以形成至少一沟槽，各该沟槽具有至少一斜面；在该至少一斜面上形成一第一反射层；移除部分该第一基板，以形成至少一光通孔，该光通孔对应位于该第一反射层的上方，且该光通孔具有第一孔径以及第二孔径，其中该第一孔径小于该第二孔径，该第一孔径位于该光通孔的出光端，而该第二孔径位于该光通孔的入光端；以及形成一第二反射层在各该光通孔的内壁上。