发明名称 基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器及其制备方法
摘要 一种基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器,由下电极、阻变转换层和上电极构成,阻变转换层为改性的PN型氧化物叠层结构,P/N型氧化物叠层厚度<200nm,掺杂浓度<5at.%。本发明的优越性在于采用P/N型氧化物叠层结构,克服了由于金属良好的导热性能而导致的高Reset电流,采用P/N型氧化物叠层结构,降低了Reset电流,减小了RRAM器件的功耗。
申请公布号 CN102130297A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201010593332.7 申请日期 2010.12.17
申请人 天津理工大学 发明人 张楷亮;宋凯;王芳;王兰兰;赵金石
分类号 H01L45/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 代理人 侯力
主权项 一种基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器,其特征在于:由下电极、阻变转换层和上电极构成,阻变转换层为改性的PN型氧化物叠层结构,P/N型氧化物叠层厚度<200nm,掺杂浓度<5at.%。
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