发明名称 |
基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器及其制备方法 |
摘要 |
一种基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器,由下电极、阻变转换层和上电极构成,阻变转换层为改性的PN型氧化物叠层结构,P/N型氧化物叠层厚度<200nm,掺杂浓度<5at.%。本发明的优越性在于采用P/N型氧化物叠层结构,克服了由于金属良好的导热性能而导致的高Reset电流,采用P/N型氧化物叠层结构,降低了Reset电流,减小了RRAM器件的功耗。 |
申请公布号 |
CN102130297A |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN201010593332.7 |
申请日期 |
2010.12.17 |
申请人 |
天津理工大学 |
发明人 |
张楷亮;宋凯;王芳;王兰兰;赵金石 |
分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L45/00(2006.01)I |
代理机构 |
天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 |
代理人 |
侯力 |
主权项 |
一种基于P/N型氧化物叠层结构的阻变存储器,其特征在于:由下电极、阻变转换层和上电极构成,阻变转换层为改性的PN型氧化物叠层结构,P/N型氧化物叠层厚度<200nm,掺杂浓度<5at.%。 |
地址 |
300384 天津市南开区红旗南路延长线天津理工大学主校区 |