微机械构件、光学装置、用于微机械构件的制造方法和用于光学装置的制造方法

摘要

本发明涉及一种微机械构件，包括具有蛾眼结构的部件(56)，蛾眼结构覆盖部件(56)的至少一个部分表面(62，64，66)。部分表面(62，64，66)的至少一部分可以作为第一接触面(66)与微机械构件的接触部件(58)在该接触部件(58)的至少一个具有针形微结构的第二接触面(68)上接触，第一接触面(66)的蛾眼结构和第二接触面(68)的针形微结构至少部分地相互啮合。作为变换或补充，部分表面(62，64，66)的至少一部分是构造为光窗口的部件(56)的外侧面(62)和/或面向内部空间裸露的内侧面(64)的至少一个部分面。本发明还涉及一种具有这种微机械构件的光学装置。另外本发明涉及一种用于微机械构件的制造方法和一种用于光学装置的制造方法。

主权项

微机械构件(102)，包括：部件(56，112)，该部件具有蛾眼结构，该蛾眼结构覆盖该部件(56，112)的至少一个部分表面(62，64，66，114，116)。