| 发明名称 | 一种硅片的气流冲洗机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体、封闭空腔，所述盒体与所述封闭空腔通过连接装置活动连接成一体，所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体，由于所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体，使盒体与封闭空腔的连接更加牢固，且避免了封闭空腔由于多次使用被损坏，从而延长了冲洗机构的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN201904310U | 申请公布日期 | 2011.07.20 |
| 申请号 | CN201020579548.3 | 申请日期 | 2010.10.27 |
| 申请人 | 镇江市港南电子有限公司 | 发明人 | 聂金根 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人 | 季萍 |
| 主权项 | 一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体、封闭空腔，所述盒体与所述封闭空腔通过连接装置活动连接成一体，其特征在于，所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体。 | ||
| 地址 | 212132 江苏省镇江市新区大港机电工业园东方路 | ||