发明名称 双臂式机械手臂及其搬运板件的方法
摘要 本发明公开一种双臂式机械手臂及其搬运板件的方法,其主要将一第一机械手臂与一第二机械手臂同时伸入一加工设备中;并在所述第二机械手臂取出所述加工设备中的一第二板件时,使所述第一机械手臂可同时进行一稳定作业及对先前承载的一第一板件进行一解除固定吸力作业;接着,降低所述第一机械手臂,以将所述第一板件放置在所述加工设备中。本方法可防止所述第一板件在放置时发生破裂的风险,并节省所述第一机械手臂等候稳定及解除固定吸力所需的作业时间。
申请公布号 CN102129963A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201010559558.5 申请日期 2010.11.25
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 李彦泽;贺成明
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 广东国晖律师事务所 44266 代理人 欧阳启明
主权项 一种双臂式机械手臂搬运板件的方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:(a)准备一第一机械手臂及一第二机械手臂,并由所述第一机械手臂承载一第一板件;(b)将所述第一机械手臂与所述第二机械手臂同时伸入一加工设备中,其中所述第二机械手臂到达一作业位置的下方,所述作业位置上放置有一第二板件;(c)抬升所述第二机械手臂,以承载所述第二板件;(d)移动所述第二机械手臂及所述第二板件,以退出所述加工设备;(e)降低所述第一机械手臂,并将所述第一板件放置于所述作业位置上;以及(f)移动所述第一机械手臂,以退出所述加工设备;其中在步骤(c)至步骤(d)的期间,所述第一机械手臂同时进行一稳定作业。
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