发明名称 一种多路温控通道控制系统及控制方法
摘要 本发明公开一种多路温控通道控制系统,其包括n路温控通道控制回路和协同温控模块。该协同温控模块将目标温控通道的第一差值同与之相邻的温控通道的第一差值进行比较,并根据比较结果来确定是否需要启动相邻通道的协同控制,如果需要启动,则向相邻温控通道的开关模块发送控制信号,以便接通或者断开加热模块的电力供应,进而借助于目标温控通道与相邻温控通道之间的热传递而对目标温控通道进行协同控制。此外,本发明还提供一种多路温控通道控制方法。本发明提供的控制系统和方法能够使多路温控通道协同工作,从而更快更好地提高整个系统的温度均匀性,同时能够缩短温度调控时间,以避免温控通道中的加热器等部件老化过快,进而延长其使用寿命。
申请公布号 CN101533282B 申请公布日期 2011.07.13
申请号 CN200810101811.5 申请日期 2008.03.12
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 李谦
分类号 G05D23/20(2006.01)I;G05D23/22(2006.01)I;G05D23/24(2006.01)I;G05D23/32(2006.01)I 主分类号 G05D23/20(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 张天舒;陈源
主权项 一种多路温控通道控制系统,包括n路温控通道控制回路,n为大于等于2的整数,所述每一路温控通道控制回路均包括基本温控模块、开关模块、加热模块以及测温模块,其中所述测温模块用于测量所述温控通道的温度,并将测量值传输至基本温控模块;所述基本温控模块根据来自所述测温模块的温度测量值和预先输入的温度设定值而向开关模块输出控制信号;所述开关模块根据来自基本温控模块的控制信号而闭合或断开,以接通或者断开加热模块的电力供应;所述加热模块用于在得到电力供应的情况下对所述温控通道进行加热,以提高所述温控通道的温度值;其特征在于,所述多路温控通道控制系统还包括协同温控模块,所述协同温控模块包括接收单元、计算单元、比较单元和控制单元,其中所述接收单元用于接收各路温控通道的温度设定值,并且从各路温控通道的测温模块接收各路温控通道的温度测量值,并将它们传输至计算单元;所述计算单元根据每一路温控通道的温度设定值和温度测量值计算该温控通道的第一差值,并将其传输至比较单元,所述第一差值为温度设定值与温度测量值之差;所述比较单元在判断出目标温控通道的第一差值大于0后,将所述目标温控通道的第一差值同与之相邻的温控通道的第一差值进行比较,若前者大于后者,则在所述目标温控通道进行基本温度控制下的加热操作的同时,也使相邻温控通道进行加热操作,以便通过热传递而对目标温控通道进行协同温度控制;如果前者小于后者,则仅使所述目标温控通道进行基本温度控制下的加热操作,而不向其相邻的温控通道输出控制指令,以使其保持原有工作状态而不进行协同控制;并且在判断出目标温控通道的第一差值小于0后,将所述目标温控通道的第一差值同与之相邻的温控通道的第一差值进行比较,若前者小于后者,则在所述目标温控通道进行基本温度控制下的散热操作的同时,也使相邻温控通道进行散热操作,以便通过热传递而对目标温控通道进行协同温度控制;如果前者大于后者,则仅使所述目标温控通道进行基本温度控制下的散热操作,而不向其相邻的温控通道输出控制指令,以使其保持原有工作状态而不进行协同控制。
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