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发明名称
Method for forming high-resolution pattern and substrate having prepattern formed thereby
摘要
申请公布号
GB2443342(B)
申请公布日期
2011.07.13
申请号
GB20070023991
申请日期
2006.05.12
申请人
LG CHEM, LTD.
发明人
DONG-YOUN SHIN;TAE-SU KIM
分类号
H01L21/32
主分类号
H01L21/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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