发明名称 Method for forming high-resolution pattern and substrate having prepattern formed thereby
摘要
申请公布号 GB2443342(B) 申请公布日期 2011.07.13
申请号 GB20070023991 申请日期 2006.05.12
申请人 LG CHEM, LTD. 发明人 DONG-YOUN SHIN;TAE-SU KIM
分类号 H01L21/32 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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