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发明名称 USE OF SURFACTANT/DEFOAMER MIXTURES FOR ENHANCED METALS LOADING AND SURFACE PASSIVATION OF SILICON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP2342738(A2) 申请公布日期 2011.07.13
申请号 EP20090818502 申请日期 2009.10.01
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 KORZENSKI, MICHAEL B.;JIANG, PING;BEALL, CHARLES;BJELOPAVLIC, MICK
分类号 C09K13/08;C23F1/18;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
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