用于等离子体反应器的具有智能升降销机构的静电卡盘

摘要

用在对工件进行处理的反应器中的升降销组件包括大致平行于升降方向延伸的多个升降销。多个升降销的每个具有用于支撑工件的顶端和底端。升降台面向升降销的底端，并在大致平行于升降方向的方向上移动。小力检测器感测由升降销施加的力，该力足够大以指示所夹持的晶片，并且足够小以避免晶片脱离夹持。大力检测器感测在足以使晶片脱离夹持的范围中由升降销施加的力。

主权项

一种升降销组件，用在处理工件用的反应器中，所述升降销组件包括：多个升降销，其大致平行于升降方向延伸，所述多个升降销每个具有底端和用于支撑工件的顶端；升降台，其面向所述销的所述底端，并可在大致平行于所述升降方向的方向上平移；小力检测器，用于感测由所述升降销施加的力，所述力大到足以夹持所述工件，并且小到足以避免所述工件解除夹持；以及大力检测器，用于感测在足以使所述工件解除夹持的范围中由所述升降销施加的力。