用于控制在多个气体流束之间的气体流量的方法

摘要

本发明涉及用于控制在一个或多个流入流束与一个或多个流出流束之间通过会合点的气体流量的方法和设备。方法使用通过将流入质量流量测量值的总和与流出质量流量测量值的总和相比较、并加上偏置分量以提供偏置质量流量不平衡值而得到的偏置质量流量不平衡值。调节流入和流出流束(12、14、16、18、20)中的至少一个的流量以将偏置质量流量不平衡值移向零。另外，提供会合点压力测量(PC)，其可用于响应于会合点压力测量(PC)相对于压力设定值(PSP)的变化，调节偏置分量，以减缓会合点压力测量(PC)相对于压力设定值(PSP)的变化。

主权项

一种用于控制在一个或多个流入流束(12、14)与一个或多个流出流束(16、18、20)之间通过会合点(22)的气体流量的方法，所述方法至少包括步骤：(a)确定流入流束(12、14)中的至少一个的质量流量，以提供一个或多个相应流入质量流量测量值；(b)确定流出流束(16、18、20)中的至少一个的质量流量，以提供一个或多个相应流出质量流量测量值；(c)通过将步骤(a)的全部流入质量流量测量值的总额与步骤(b)的全部流出质量流量测量值的总额相比较、并加上偏置分量以提供偏置质量流量不平衡值，而提供偏置质量流量不平衡值；(d)测量指示在会合点(22)处的气体压力的量，以提供会合点压力测量(PC)；(e)调节流入和流出流束(12、14、16、18、20)中的至少一个的流量，以将偏置质量流量不平衡值移向零；及(f)响应于会合点压力测量(PC)相对于压力设定值(PSP)的变化，调节偏置质量流量不平衡值的偏置分量，以减缓会合点压力测量(PC)相对于压力设定值(PSP)的变化。