| 主权项 |
一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，该仪器包括：非接触式单面探针装置，其通过一非接触探针电极馈送AC电力至各图案化电极的一端并且根据图案化电极附近由周围地面形成的寄生电容器的电容变化测量非接触探针电极的电性变化值；讯号处理区段，其经由由非接触式单面探针装置测量的电性变化值决定开路或短路。如申请专利范围第1项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，非接触式单面探针装置包括：非接触探针电极，其以非接触状态馈送电力至一图案化电极并感测电性变化值；一电力馈送区段，其施加AC电力至非接触探针电极；及一感测器，其测量非接触探针电极的电性变化值。如申请专利范围第2项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，电力馈送区段包括用以施加AC电流的AC电流源，且感测器测量电压的变化。如申请专利范围第3项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，非接触探针电极包括：一激发器电极，其被连接至电力馈送区段，用以施加AC电流；及一感测器电极，其被连接至感测器，用以感测电压的变化。如申请专利范围第3项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，非接触探针的激发器电极及感测器电极系彼此被整体地形成。如申请专利范围第2项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，电力馈送区域包括用以施加AC电压的AC电压源，且感测器测量电压的变化。如申请专利范围第6项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，非接触探针电极包括：一激发器电极，其被连接至电力馈送区段，用以施加AC电压；及一感测器电极，其被连接至感测器，用以感测电压的变化。如申请专利范围第2项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，电力馈送区段包括用以施加AC电压的一AC电压源，且感测器测量在AC电压源及非接触探针电极之间流动的电流的变化。如申请专利范围第2项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，非接触探针电极包括：第一及第二激发器电极，其馈送AC电压；及第一及第二感测器电极，其测量电压的变化。如申请专利范围第9项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，第一激发器电极及第一感测器电极被排列在一线性轴上，第二激发器电极及第二感测器电极被排列在一线性轴上，第一及第二激发器电极被平行排列，且第一及第二感测器电极被平行排列。如申请专利范围第9项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，第一激发器电极及第一感测器电极被排列在一线性轴上，第二激发器电极及第二感测器电极被排列在一线性轴上，且第一及第二激发器电极与第一及第二感测器电极被分别排列以对角地彼此对称。如申请专利范围第9至11项中任一项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，电力馈送区域分别馈送具有相同的振幅与180度相反的相位之AC电压至第一及第二激发器电极。如申请专利范围第9项的一种用以在使用非接触式单面探针装置扫瞄图案化电极时测试形成在面板上的复数图案化电极的开路及短路的仪器，其中，感测器测量在由第一及第二感测器电极测量的电压间的差动电压。一种使用非接触式单面探针装置测试图案化电极的开路及短路的方法，该非接触式单面探针装置，包括：一非接触探针电极，其以非接触状态馈送电力至一图案化电极并感测一电性变化值；一电力馈送区段，其施加AC电力至非接触探针电极；及一感测器，其测量非接触探针电极的电性变化值；该方法包括：将非接触式单面探针装置排列在被形成于面板上的图案化电极的两端，通过非接触探针电极施加不同的频率至图案化电极，使用非接触探针电极测量电性变化值，并测试图案化电极的开路及短路。一种使用非接触式单面探针装置测试图案化电极的开路及短路的方法，该非接触式单面探针装置，包括：一非接触探针电极，其以非接触状态馈送电力至一图案化电极并感测一电性变化值；一电力馈送区段，其施加AC电力至非接触探针电极；及一感测器，其测量非接触探针电极的电性变化值；该方法包括：将非接触式单面探针装置排列在被形成于面板上的图案化电极的两端，施加相同的频率至图案化电极，使得相同的频率被施加至彼此分开的图案化电极，使用非接触探针电极测量电性变化值，并测试图案化电极的开路及短路。 |
