| 主权项 |
一种基板支撑元件，包括：板状陶瓷基体，一个面为基板支撑面；板状复合材料基体，在与基板支撑面相反的面上透过包含铝合金且厚度为50~200μm程度之接合材来与该陶瓷基体接合，该板状复合材料基体包含多孔质陶瓷，该多孔质陶瓷之气孔内充填了金属，且该复合材料基体之气孔率大于0%但未满5%；以及金属板，在该复合材料基体之与该陶瓷基体接合面相反的面透过含铝合金且厚度为50~200μm程度之接合材来与该复合材料基体接合；其中(1)该陶瓷基体系以氮化铝为主成分之陶瓷形成，且该金属板系从钼或KOVAR之至少一种的金属材料来形成，或者(2)该陶瓷基体系以氧化铝为主成分之陶瓷形成，且该金属板系从钛或铌或其合金之至少一种的金属材料来形成；其中该金属板与该陶瓷基体之热膨胀系数差在1.0×10-6/K以下；其中该复合材料基体之该多孔质陶瓷之组成材料系氧化铝、碳化矽或氮氧化矽铝；其中该金属板之厚度介于0.2mm与3mm之间。 |
