发明名称 击锤力量传导装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.07.11
申请号 TW097143770 申请日期 2008.11.13
申请人 正恩科技有限公司 发明人 刘兴康
分类号 B25D17/08;B25D17/02;H01L21/304 主分类号 B25D17/08
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 一种击锤力量传导装置,其供一劈裂单元连结设置,以对置放于一晶圆基座上的一晶圆片实施劈裂动作,该击锤力量传导装置包含有:一传导单元,该传导单元包含有:至少一滑轨与至少一滑座,该滑座与该劈裂单元连结设置,该劈裂单元藉由该滑座在该滑轨上的相对位移而对该晶圆片实施劈裂动作;至少一传动螺丝,该传动螺丝一端为一螺锁端并与该劈裂单元连结设置,而另一端为一限制端;以及至少一复位单元,该复位单元与该限制端连结设置,以供该劈裂单元于实施劈裂动作后的复位动作。如申请专利范围第1项所述之击锤力量传导装置,其中该滑座连结设置于一传导座,该传导座上并设有至少一击锤单元。如申请专利范围第1项所述之击锤力量传导装置,其中该劈裂单元开设有至少一传动孔与一紧迫孔,且该传动孔连通该紧迫孔,其中该传动孔供该螺锁端螺锁设置,该紧迫孔供一止付螺丝螺锁设置,并由该紧迫孔的该止付螺丝对在该传动孔的该传动螺丝进行螺锁紧迫,以藉此对该传动螺丝进行固定。如申请专利范围第3项所述之击锤力量传导装置,其中该止付螺丝与该传动螺丝间夹设有一制动元件。如申请专利范围第1项所述之击锤力量传导装置,其中该复位单元包含有至少一止挡部、至少一弹性元件与至少一挡块,且该挡块上设有该止挡部与该弹性元件,该止挡部为瓶盖状且内具一容置空间,并在该止挡部上开设一限位孔,该止挡部下设有一开口,由于该限制端具一膨大的施力部,该限位孔与该弹性元件经该传动螺丝穿设后,使该止挡部因该施力部的挡设固设于该限制端,而该弹性元件经套设后容设于该容置空间内,另,该挡块连结设置于该传导单元,且该挡块贯穿开设有一穿孔供该传动螺丝穿设,因此,该复位单元藉该弹性单元与该止挡部在该挡块上实施复位动作。如申请专利范围第5项所述之击锤力量传导装置,其中由于该弹性元件未实施劈裂动作前的高度高于该止挡部,因此该止挡部在该挡块上具有一动作高度,并藉该传动螺丝而调整该动作高度。如申请专利范围第5项所述之击锤力量传导装置,其中该弹性元件为弹簧。
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