发明名称 半导体晶片、半导体器件及半导体器件的制造方法
摘要 本发明涉及一种半导体晶片,包括多个芯片区域、一划线区域、一键合焊盘、一探测焊盘和一焊盘连接线。多个芯片区域被配置成以矩阵形式排列。划线区域被配置成使多个芯片区域彼此分离。键合焊盘被配置成连接一外部端子。探测焊盘被配置成接触一探测线。焊盘连接线被配置成使键合焊盘电连接到探测焊盘。在多个芯片区域的每一个中,键合焊盘和探测焊盘彼此之间设置一给定距离。焊盘连接线的一部分位于划线区域中。
申请公布号 CN101030573B 申请公布日期 2011.11.09
申请号 CN200710100637.8 申请日期 2007.03.02
申请人 株式会社理光 发明人 榎原淳
分类号 H01L27/00(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I 主分类号 H01L27/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 王景刚;王冉
主权项 一种半导体晶片,包括;多个芯片区域,配置得以矩阵形式排列,划线区域,配置得以使多个芯片区域彼此分离;键合焊盘,配置得与外部端子连接;探测焊盘,配置得与探测线接触;和焊盘连接线,配置得以使键合焊盘电连接到探测焊盘;其中,在多个芯片区域的每一个中,键合焊盘和探测焊盘彼此之间设置一给定距离,和其中,焊盘连接线具有位于划线区域中的一部分,且焊盘连接线不位于探测焊盘下方;且所述焊盘连接线从探测焊盘延伸出来,引入划线区域,并且折回进入芯片区域以与键合焊盘连接。
地址 日本东京都