发明名称 |
半导体晶片、半导体器件及半导体器件的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体晶片,包括多个芯片区域、一划线区域、一键合焊盘、一探测焊盘和一焊盘连接线。多个芯片区域被配置成以矩阵形式排列。划线区域被配置成使多个芯片区域彼此分离。键合焊盘被配置成连接一外部端子。探测焊盘被配置成接触一探测线。焊盘连接线被配置成使键合焊盘电连接到探测焊盘。在多个芯片区域的每一个中,键合焊盘和探测焊盘彼此之间设置一给定距离。焊盘连接线的一部分位于划线区域中。 |
申请公布号 |
CN101030573B |
申请公布日期 |
2011.11.09 |
申请号 |
CN200710100637.8 |
申请日期 |
2007.03.02 |
申请人 |
株式会社理光 |
发明人 |
榎原淳 |
分类号 |
H01L27/00(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
王景刚;王冉 |
主权项 |
一种半导体晶片,包括;多个芯片区域,配置得以矩阵形式排列,划线区域,配置得以使多个芯片区域彼此分离;键合焊盘,配置得与外部端子连接;探测焊盘,配置得与探测线接触;和焊盘连接线,配置得以使键合焊盘电连接到探测焊盘;其中,在多个芯片区域的每一个中,键合焊盘和探测焊盘彼此之间设置一给定距离,和其中,焊盘连接线具有位于划线区域中的一部分,且焊盘连接线不位于探测焊盘下方;且所述焊盘连接线从探测焊盘延伸出来,引入划线区域,并且折回进入芯片区域以与键合焊盘连接。 |
地址 |
日本东京都 |