| 主权项 |
一种微影系统，其包含：一具有一发射部分之装置，其经组态以产生一图案化光束；一记忆体经组态以储存一压缩图像(represenation)，该压缩图像系一待以该经图案化之光束形成于一表面上之所需剂量之图案一压缩图像；及一辞典解压缩器经组态以至少部分解压缩该压缩图像，其中该辞典解压缩器包含：一第一辞典记忆体，及一第二辞典记忆体，其中该所需剂量之图案包含两群组之重复图案特征；及其中该辞典解压缩器经组态使得：该第一辞典记忆体经组态以储存对应于该等群组之一第一群组的图案资料，及该第二辞典记忆体经组态以储存对应于该等群组之一第二群组的图案资料，其中该第一群组中之该等重复图案特征相较于该第二群组中之该等重复图案特征具有一个或多个相异特性。如请求项1之系统，其中该第一辞典记忆体为一外部辞典记忆体。如请求项1之系统，其中该辞典解压缩器进一步包含：一第一辞典解码器，经组态以藉由自该第一辞典记忆体撷取该压缩图像中所包含的对应于对该第一辞典记忆体之参考的部分图案资料来至少部分解压缩该压缩图像之至少一部分；及一第二辞典解码器，经组态以藉由自该第二辞典记忆体撷取该压缩图像中所包含的对应于对该第二辞典记忆体之参考的部分图案资料来至少部分解压缩该压缩图像之至少一部分。如请求项3之系统，其中该第二辞典记忆体为该第二辞典解码器之一内部记忆体。如请求项3之系统，其进一步包含：一可控制链路经组态以将由该第二辞典解码器解压缩之资料之至少一部分转递至该第二辞典记忆体，其对应于在解码过程中稍后将由该第二辞典解码器撷取之特征。如请求项5之系统，其中该可控制链路经组态以基于输入至该第二辞典解码器用于解压缩之该资料中的标记而选择该解压缩资料之部分以转递至该第二辞典记忆体，该等标记指示哪些资料序列在该解码过程中稍后将由该第二辞典解码器撷取。如请求项3之系统，其中：该等第一及第二辞典解码器包含至少一场可程式化闸阵列；该第二辞典记忆体包含整合于该至少一场可程式化闸阵列中之记忆体；及该第一辞典记忆体包含与该至少一场可程式化闸阵列分离而形成且经由一通信介面而连接之记忆体。如请求项3之系统，其中该等辞典记忆体中之至少一者的内容根据由该辞典解压缩器处理之该所需之图案的一区而改变。如请求项8之系统，其中该等辞典记忆体中之至少一者经组态以藉由储存自该等辞典解码器中之至少一者之输出的后续部分而逐渐更新。如请求项8之系统，其中自该第一辞典解码器之输出形成一用于该第二辞典解码器之输入；且该第二辞典记忆体藉由储存自该第二辞典解码器之该输出之后续部分而逐渐更新。如请求项8之系统，其中该等辞典记忆体中之该至少一者经组态以藉由自一外部记忆体元件汇入资料而逐渐更新。如请求项8之系统，其中该等辞典记忆体中之至少一者之内容包括关于该所需的图案之一部分的资料，该部分对应于最近已加以处理的该所需之图案之一区。如请求项12之系统，其中该所需之图案之该部分藉由一大体上预定尺寸之一窗口来定界，该窗口小于该所需剂量之图案，且在解压缩期间移动该窗口以便仅含有最近经处理之该图案之该区。如请求项1之系统，其中：该辞典解压缩器经组态以部分输出压缩资料，如运行长度编码资料、霍夫曼编码资料、德耳塔编码资料或基于辞典之编码资料；及该系统进一步包含一运行长度解码器、一霍夫曼解码器、一德耳塔解码器或一基于辞典之解码器，每一解码器经配置以至少部分解码该部分压缩资料。如请求项1之系统，其中该第一辞典记忆体包含同步动态随机存取记忆体。如请求项1之系统，其中该第二辞典记忆体包含静态随机存取记忆体。如请求项1之系统，其中位于该剂量之图案且大于剂量临限值之一辐射剂量会导致曝光于该辐射剂量之一基板之一区域形成一抗蚀层，利用此抗蚀层，可保护该曝光于该辐射剂量之一基板之区域免于蚀刻。如请求项1之系统，其中位于该剂量之图案且小于剂量临限值之一辐射剂量会导致曝光于该辐射剂量之一基板之一区域被移除。如请求项1之系统，其中该相异特性包含大小及重复频率之一或多者。一种处理一资料流之方法，其包含产生一图案化光束；储存一压缩图像，该压缩图像系一待以该经图案化之光束而形成于一基板上之所需剂量之图案，其中该所需剂量之图案包含两群组之重复图案特征；及藉由自一包含一外部辞典记忆体及一内部辞典记忆体之辞典记忆体撷取该压缩图像中所包含的对应于对该辞典记忆体之参考的部分图案资料来读取且至少部分解压缩该压缩图像之至少部分，其中该外部辞典记忆体储存对应于该等群组之一第一群组的图案资料，其中该内部辞典记忆体储存对应于该等群组之一第二群组的图案资料，以及其中该第一群组中之该等重复图案特征相较于该第二群组中之该等重复图案特征具有一个或多个相异特性。一种压缩表示一微影装置之一所需剂量之图案的一资料流的方法，其包含：分析该资料流以识别出现超过一次之资料序列；自已识别之重复资料序列选择一群组进行编码以供一辞典解码器之后续之解压缩；及藉由用对一辞典记忆体中之一位置之一参考替换该群组中之该等重复序列中之至少一者而形成该资料流之一压缩图像之至少一部分，该重复序列之一未压缩版本在该辞典解码器之解压缩期间可被存取。如请求项21之方法，其进一步包含：自该等经识别之重复资料序列选择一第一群组进行编码，以供一第一辞典解码器之后续解压缩；自该等经识别之重复资料序列选择一第二群组进行编码以供一第二辞典解码器之后续解压缩；藉由用对一外部辞典记忆体中之一位置之一参考替换该第一群组中之该等重复序列中的至少一者而形成该资料流之一压缩图像之至少一部分，该重复序列之一未压缩版本在该第一辞典解码器之解压缩期间将可自该位置存取，其中该外部辞典记忆体位于该第一辞典解码器之外部；及藉由用对一内部辞典记忆体中之一位置之一参考替换该第二群组中之该等重复序列中的至少一者而形成该资料流之一压缩图像之至少一部分，该重复序列之一未压缩版本在该第二辞典解码器之解压缩期间将可自该位置存取，其中该内部辞典记忆体位于该第二辞典解码器之内部。如请求项22之方法，其中：藉由至少一场可程式化闸阵列来实施该第一及该第二辞典解码器；该内部辞典记忆体实施于与该至少一场可程式化闸阵列形成一体之记忆体中；及该外部辞典记忆体实施于与该至少一场可程式化闸阵列分离而形成且经由一通信介面而连接之记忆体中。如请求项22之方法，其中：该资料流包含根据下列方法中之至少一者而编码之该所需剂量之图案之一图像：运行长度编码、霍夫曼编码及德耳塔编码。如请求项22之方法，其中选择该第一群组之重复序列，使得对于该第一群组中之一重复序列之每一执行个体而言，构成该重复序列之该未压缩版本的位元之数量与出现于该执行个体与该资料流中的该相同重复序列之前一执行个体之间的位元之数量的总和高于一预定临限值；及选择该第二群组之重复序列，使得对于该第二群组中之一重复序列之每一执行个体而言，构成该重复序列之该未压缩版本的位元之数量与出现于该执行个体与该资料流中的该相同重复序列之前一执行个体之间的位元之数量的总和等于或低于该预定临限值。如请求项25之方法，其中根据该内部辞典记忆体之一容量而决定该预定临限值。如请求项22之方法，其进一步包含：在该压缩图像中之该等资料序列中产生标记以指示该等资料序列是否将在解码期间由该第二辞典解码器自该内部辞典记忆体存取。如请求项21之方法，其包含：预处理该资料流以执行一初始压缩；分析经预处理之资料流以便识别出现多次之资料序列；对此一重复资料序列中之每一执行个体进行计算，多少介入资料出现于该执行个体与前一执行个体之间的该经预处理之资料流中；执行一局部辞典编码过程，该过程包含对于该介入资料之尺寸与该资料序列之尺寸之总和不超过一预定临限值的每一重复资料序列而言用对一局部辞典解码器之一内部记忆体中之一位置的一参考替换该资料序列，可在该局部辞典解码器解码该资料流期间于该位置处发现该前一执行个体；及将该局部辞典编码过程之输出转递至一整体辞典编码过程，该整体辞典编码过程包含用对一整体辞典解码器使用之一外部记忆体中之一位置的参考替换该等剩余重复资料序列之至少一部分，可在该整体辞典解码器解码该资料流期间于该位置处发现该重复序列之一图像。如请求项28之方法，其中根据该内部记忆体之一容量而决定该预定临限值。如请求项28之方法，其中该预处理包含使用下列方法中之至少者而编码：运行长度编码、霍夫曼编码、德耳塔编码及基于辞典之编码。如请求项21之方法，其包含：预处理该资料流以执行一初始压缩；及执行一局部辞典编码过程以提供一适于藉由一局部辞典解码器来解码之局部辞典编码资料流，其中：该局部辞典解码器经组态以对一内部局部辞典记忆体进行存取，自该局部辞典解码器之一输出提供用于该局部辞典记忆体之输入，该局部辞典记忆体仅储存该输出之一最近部分，及该局部辞典编码过程包含：分析经预处理之资料以识别出现多次之资料序列；及为此一重复资料序列之每一执行个体计算该相同序列之前一执行个体是否将于在解码期间遭遇该后一执行个体之时间点处完全储存于该局部辞典记忆体中，若如此，则用对该局部辞典记忆体中之一位置之参考替换每一该执行个体，该前一执行个体将在解码期间可自该位置使用，及将该局部辞典编码资料流作为输入而转递至一整体辞典编码过程，该整体辞典编码过程提供一适于藉由一整体辞典解码器解码之整体辞典编码资料流，其中：该整体辞典解码器经组态以对一外部整体辞典记忆体进行存取，及该整体辞典解码过程包含：分析该局部辞典编码资料以识别出现多次之资料序列；及用对该整体辞典记忆体中之位置之参考替换该等重复序列之至少一子集，该等序列之图像将在解码期间可自该等位置使用。如请求项31之方法，其中该预处理包含藉由使用下列方法中之至少一者而编码：运行长度编码、霍夫曼编码、德耳塔编码及基于辞典之编码。如请求项31之方法，其中该局部辞典记忆体经组态以基于一先进先出而储存自该局部辞典解码器的该输出之一部分。 |
