光栅元件、光拾取光学系统以及光栅元件的设计方法

摘要

一种光栅元件，其具有在透明基板(12D)、(12E)、(12F)的一个表面上周期性配置凸部(12G)、(12I)、(12K)和凹部(12H)、(12J)、(12L)而成的衍射部件(12A)、(12B)、(12C)，并且衍射部件(12A)、(12B)、(12C)以大致垂直于透明基板(12D)、(12E)、(12F)的方向进行层叠，衍射部件(12A)、(12B)的凸部(12G)、(12I)由电介质多层膜形成，该电介质多层膜构成为，由2种以上的介电膜以该大致垂直的方向层叠在透明基板(12D)、(12E)上而形成，并且以规定的衍射效率衍射该衍射部件(12A)、(12B)、(12C)的激光波长彼此不同。

主权项

一种光栅元件，其具有多个在透明基板的一个表面上周期性配置凸部和凹部所形成的衍射部件，多个所述衍射部件以大致垂直于所述透明基板的方向进行层叠，在多个所述衍射部件中，至少一个所述衍射部件的所述凸部由电介质多层膜形成，所述电介质多层膜是由2种以上的介电膜以所述大致垂直的方向层叠在所述透明基板上而成，多个所述衍射部件以规定的衍射效率所衍射的激光的波长彼此不同。