发明名称 |
三结叠层太阳能薄膜电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种三结叠层太阳能薄膜电池及其制备方法,该三结叠层太阳能薄膜电池包括顶电池、中间电池和底电池,各电池分别包括P型掺杂层、本征层和N型掺杂层,其中,顶电池的本征层为晶粒尺寸为2-10纳米以及晶化率为10-20%的本征纳米硅薄膜。上述三结叠层太阳能薄膜电池的制备方法中,形成顶电池本征层时,在硼掺杂非晶硅碳层上,采用硅烷浓度为1-5%的硅烷和氢气的混合气体,在1.0-1.5Torr的沉积气压、180-220℃的沉积温度以及15-30W的辉光功率下,沉积本征纳米硅薄膜。通过本发明,能提高顶电池的带隙宽度,扩大太阳能薄膜电池的光谱吸收范围,克服S-W效应,从而提高光电转化效率。 |
申请公布号 |
CN102117860A |
申请公布日期 |
2011.07.06 |
申请号 |
CN201010033931.3 |
申请日期 |
2010.01.06 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方能源科技有限公司 |
发明人 |
李贵君;韩晓艳;宋行宾 |
分类号 |
H01L31/075(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/075(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
刘芳 |
主权项 |
一种三结叠层太阳能薄膜电池,包括顶电池、中间电池和底电池,分别包括P型掺杂层、本征层和N型掺杂层,其特征在于:所述顶电池的本征层为晶粒尺寸为2‑10纳米以及晶化率为10‑20%的本征纳米硅薄膜。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |