发明名称 |
红外焦平面探测器封装窗口及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供了一种红外焦平面探测器封装窗口及其制作方法,封装窗口包括基片,基片正面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜,基片背面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜,四周镀制有用于封装的金属薄膜。制作方法是红外光学薄膜与金属薄膜均用真空热蒸发方法镀制。本发明将封装窗口的波长截止功能与真空封装功能集成在一起,在一块基片上同时实现了两种功能,不仅提高了封装成品率而且解决了原有封装窗口真空漏气的问题。 |
申请公布号 |
CN102117842A |
申请公布日期 |
2011.07.06 |
申请号 |
CN200910247646.9 |
申请日期 |
2009.12.30 |
申请人 |
上海欧菲尔光电技术有限公司 |
发明人 |
周东平;赵培 |
分类号 |
H01L31/0203(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0203(2006.01)I |
代理机构 |
上海科盛知识产权代理有限公司 31225 |
代理人 |
杨元焱 |
主权项 |
一种红外焦平面探测器封装窗口,其特征在于:包括基片,基片正面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜,基片背面的中间部分镀制有用于波长截止的红外光学薄膜,四周镀制有用于封装的金属薄膜。 |
地址 |
200434 上海市虹口区汶水东路888号 |