| 发明名称 | 显示装置、其所使用的Cu合金膜和Cu合金溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种显示装置用Cu合金膜，既可维持作为Cu系材料的特征的低电阻，与玻璃基板的粘附性又优异。本发明涉及一种显示装置用Cu合金膜，是在基板上，作为与玻璃基板直接接触的配线的显示装置用Cu合金膜，该Cu合金膜含有从Ti、Al和Mg之中选出的一种以上的元素，合计为0.1～10.0原子％。本发明也包括具有包含所述显示装置用Cu合金膜的薄膜晶体管的显示装置。作为该显示装置，该薄膜晶体管具有底栅型构造，该薄膜晶体管的栅电极和扫描线含有所述显示装置用Cu合金膜，优选与玻璃基板直接接触的状态。 | ||
| 申请公布号 | CN102119230A | 申请公布日期 | 2011.07.06 |
| 申请号 | CN200980131206.5 | 申请日期 | 2009.08.14 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 大西隆;三木绫;后藤裕史;水野雅夫;伊藤弘高;富久胜文 |
| 分类号 | C22C9/00(2006.01)I;C22C9/01(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | C22C9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种显示装置用Cu合金膜，其特征在于，是作为在基板上与玻璃基板直接接触的配线的显示装置用Cu合金膜，其中，该Cu合金膜含有合计为0.1～10.0原子％的从Ti、Al和Mg中选出的一种以上的元素。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||