透明衬底端面部的检查装置及其检查方法

摘要

本发明的透明衬底端面部的检查装置以及透明衬底端面部的检查方法可靠且高精度地检测出透明衬底的端面部中的缺陷。作为透明衬底的显示面板衬底10承载在旋转载物台21上，由与显示面板衬底10的端面部面对配置的端面照明部39间歇地照射光。沿显示面板衬底10的表面照射的光由下部反射镜42向显示面板衬底10的端面部反射。该端面部及其附近部分被CCD摄像机36拍摄，基于得到的图像数据的各像素的图像的浓度，检测出显示面板衬底10的端面部中的缺陷。

主权项

一种检查装置，该检查装置是检查透明衬底的端面部的检查装置，其特征在于，具备：第1照明单元，照射光；第1反射单元，在上述透明衬底的第1面一侧，向上述透明衬底的端面部反射上述照射的光；第2反射单元，在与上述透明衬底的上述第1面相反侧的第2面一侧上，向上述透明衬底的端面部反射上述照射的光；摄像单元，在上述透明衬底的上述第1面一侧以及上述第2面一侧中的至少一侧，接收在上述透明衬底的端面部反射的光；检测单元，基于上述被接收的光的强度，检测上述透明衬底的上述端面部处产生的缺陷。